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plasma即等离子，其清洗原理为：射频电源在一定的压力情况下，在真空腔体中产生高能量的无序等离子体，然后等离子体轰击在被清洗产品的表面，以达到清洗目的。
等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一些特殊的情况下有第四种状态存在，如地球大气中电离层中的物质。等离子清洗机的结构主要分为三个大的部分组成，分别是控制单元、真空腔体以及真空泵。
等离子体状态中存在下列物质：处于高速运动状态的电子，处于激活状态的中性原子、分子、原子团，离子化的原子、分子，未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。
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